具有含偏心距补偿的双编码器设置的旋转记录器

摘要

诸如电子束记录器的一种旋转记录装置配备了双编码器设置。第一编码器用作心轴马达控制器并位于心轴的第一端。第二编码器安装于与记录表面相邻的转盘处并用作用于在基板上记录图案的位置、速率或时钟源。第二编码器的安装偏心距相对于更精确安装的心轴控制编码器来测量，并由数字时钟发生系统利用数字锁相环进行补偿。

主权项

1.一种电子束记录器，其特征在于，包括：心轴马达；由所述心轴马达驱动的心轴，所述心轴延伸通过所述心轴马达并具有第一和第二端；转盘，它安装于所述心轴的第二端并具有旋转中心轴；第一编码器，它安装于所述心轴的第一端处；第二编码器，它安装于所述转盘上；以及控制器，它耦合到所述第一和第二编码器以及心轴马达、控制心轴马达并生成作为从第一和第二编码器接收的编码器信号的函数的记录时钟信号。