| 摘要 |
一种基板烧成装置，包括：烧成炉(20)，其在内部形成有烧成室(V)：上游侧运送路径(12)，其向该烧成炉(20)运送基板(B)；下游侧运送路径(14)，其接受并运送从烧成炉(20)导出的烧成处理完成后的基板。在烧成炉(20)中内装有基板容纳装置(30)和使该基板容纳装置(30)升降的升降装置(40)，该基板容纳装置(30)具有复数层的基板容纳架层(34)，该复数层的基板容纳架层依次接受并保持由上游侧运送路径(12)运送来的基板(B)。升降装置(40)为了使容纳了烧成处理完成后的基板的基板容纳架层(34)朝向与下游侧运送路径(14)相对向的位置而依次升降基板容纳装置(30)。本发明的基板烧成装置在实现了基板的烧成处理的高效化的基础上，还实现了设备成本和运行成本的降低。 |
