以环形和螺旋形轨道精确移动定时雷射脉冲来处理孔洞的方法

摘要

自一个样品的材料之高速移除系运用一种束定位器以指引一雷射束轴沿着种种的环形(50)与螺旋形(70、90、110)雷射工具图案。材料移除之一种较佳方法系需要：致使于束轴与样品之间的相对移动；指引束轴于一进入段加速度且沿着一进入轨道(18、52)至样品之内的一进入位置(16、54)，于此处发起雷射束脉冲发射(58)；于一环形周边加速度而移动该束轴于样品之内，以沿着样品之一环形段(40)而移除材料；及，设定进入段加速度至小于环形周边加速度之二倍。