深沟渠之制备方法及其蚀刻混合液

摘要

本发明之深沟渠之制备方法首先利用乾蚀刻技术在一矽基板之中形成一沟渠，接着涂布一蚀刻混合液于该矽基板表面及该沟渠之中。然后去除在该沟渠一预定深度以上之蚀刻混合液，并利用保留在该沟渠中之蚀刻混合液进行一蚀刻制程，以蚀刻该预定深度以下之矽基板而形成一深沟渠。该蚀刻混合液包含一输送溶液及一蚀刻剂，且该输送溶液之黏度大于该蚀刻剂之黏度。该输送溶液可为旋涂式玻璃或光阻，而该蚀刻剂可为四甲基氢氧化铵、氨水或氢氟酸，其中该输送溶液与该蚀刻剂之体积比例系介于50：1至20：1之间。