高密度电浆化学气相沈积制程及改善薄膜厚均匀性的方法

摘要

一种高密度电浆化学气相沈积制程，此沈积制程系先于晶圆上进行第一沈积步骤。然后，将晶圆旋转一角度。接着，进行第二沈积步骤，以完成薄膜之沈积。特别是，藉由上述制程所沈积之薄膜具有均匀之膜厚。