发明名称 微透镜元件以及微透镜阵列与其制造方法
摘要 一种微透镜阵列,包括一于其中具有复数个光感应器的基底、位于基底上之包括复数个微透镜的微透镜层以及位于微透镜层上的介电膜,其中微透镜系被复数个间隔所隔开,且介电膜顺应式位于微透镜层上,以填充该些间隔。
申请公布号 TWI252332 申请公布日期 2006.04.01
申请号 TW094107270 申请日期 2005.03.10
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 杨敦年
分类号 G02B5/00;B81B7/02;G02F1/1335;H01L27/00 主分类号 G02B5/00
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼;颜锦顺 台北市大安区信义路4段279号3楼
主权项 1.一种微透镜元件,包括: 一基底具有一光感应器位于其中; 一微透镜位于该基底上且包括大体上与该光感应 器对齐之一大体上凸状部分; 一介电膜顺应式位于该微透镜上;以及 一护层位于该介电膜上。 2.如申请专利范围第1项所述之微透镜元件,尚包括 一介电层介于该微透镜与该基底。 3.如申请专利范围第1项所述之微透镜元件,其中该 介电膜包括第一成份,且该微透镜包括第二成份, 该第二成份与该第一成份类似。 4.如申请专利范围第1项所述之微透镜元件,其中该 介电膜具有第一折射率,且该微透镜具有第二折射 率,该第二折射率与该第一折射率不同。 5.如申请专利范围第1项所述之微透镜元件,其中该 介电膜为一抗反射膜。 6.如申请专利范围第1项所述之微透镜元件,其中该 微透镜包括一聚合物材料。 7.如申请专利范围第1项所述之微透镜元件,其中该 微透镜包括一介电材料。 8.如申请专利范围第1项所述之微透镜元件,尚包括 一滤光层位于该护层上。 9.如申请专利范围第1项所述之微透镜元件,其中光 入射至该微透镜元件与该光感应器之一填充率( fill factor)至少为50%。 10.一种微透镜阵列,包括: 一基底具有复数个光感应器位于其中; 一微透镜层包括复数个微透镜位于该基底上,且该 些微透镜各包括大体上与相对之该些光感应器之 一对齐之一大体上凸状部分,其中该些微透镜被复 数个间隔所隔开;以及 一介电膜顺应式位于该微透镜层上且大体上填充 该些间隔。 11.如申请专利范围第10项所述之微透镜阵列,尚包 括一护层位于该介电膜上。 12.如申请专利范围第10项所述之微透镜阵列,尚包 括一介电层介于该微透镜层与该基底。 13.如申请专利范围第10项所述之微透镜阵列,其中 该介电膜包括第一成份,且该微透镜层包括第二成 份,该第二成份与该第一成份类似。 14.如申请专利范围第10项所述之微透镜阵列,其中 该介电膜具有第一折射率,且该微透镜层具有第二 折射率,该第二折射率与该第一折射率不同。 15.如申请专利范围第10项所述之微透镜阵列,其中 该介电膜为一抗反射膜。 16.如申请专利范围第10项所述之微透镜阵列,其中 该微透镜包括一聚合物材料。 17.如申请专利范围第10项所述之微透镜阵列,其中 该微透镜层包括一介电材料。 18.如申请专利范围第10项所述之微透镜阵列,尚包 括: 一护层位于该介电膜上:以及 一彩色滤光层位于该护层上。 19.如申请专利范围第10项所述之微透镜阵列,其中 光入射至该微透镜元件与该光感应器之一填充率( fill factor)至少为50%。 20.一种微透镜阵列的制造方法,包括: 提供一基底具有复数个光感应器于其中; 形成一微透镜包括复数个微透镜于该基底上,该些 微透镜各包括大体上与所相对之该些光感应器之 一对齐之一大体上凸状部分,其中该些微透镜被复 数个间隔所隔开;以及 形成一介电膜顺应式于该微透镜层上且大体上填 充该些间隔。 21.如申请专利范围第20项所述之微透镜阵列的制 造方法,尚包括形成一护层于该介电膜上。 22.如申请专利范围第20项所述之微透镜阵列的制 造方法,尚包括形成一介电层介于该微透镜层与该 基底。 23.如申请专利范围第22项所述之微透镜阵列的制 造方法,其中形成该微透镜层的步骤,包括: 沉积一微透镜材料层于该介电层上; 图案化该微透镜材料层;以及 热处理该图案化的微透镜材料层,以形成该些微透 镜。 24.如申请专利范围第23项所述之微透镜阵列的制 造方法,其中该微透镜层包括一聚合物材料。 25.如申请专利范围第20项所述之微透镜阵列的制 造方法,其中形成该微透镜层的步骤,包括: 沉积一微透镜材料层于该基底上; 形成一罩幕于该微透镜材料层上;以及 利用该罩幕蚀刻该微透镜材料层。 26.如申请专利范围第25项所述之微透镜阵列的制 造方法,其中该微透镜层包括一介电材料。 27.如申请专利范围第20项所述之微透镜阵列的制 造方法,尚包括: 形成一护层于该介电膜上;以及 形成一彩色滤光层于该护层上。 图式简单说明: 第1图为一剖面图,用以本发明一实施例之微透镜 阵列。 第2图为一剖面图,用以本发明另一实施例之微透 镜阵列。
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