发明名称 PROCEDIMIENTO PARA HACER FUNCIONAR INSTALACIONES DE VACIO CON CAMBIOS DE PRESION.
摘要 Procedimiento para hacer funcionar instalaciones de vacío con cambios de presión entre la presión de trabajo y la presión del entorno, existiendo en una cámara de vacío (V) componentes (12, 13, 13a, 24) del grupo de elementos electrónicos, transformadores, motores, rodamientos y rodillos de guía, que están provistos con recubrimientos ventilables, estando los rodillos de guía (12) provistos de rodamientos de rodillos (24) que son sostenidos dentro de los recubrimientos sobre cuerpos de apoyo (7, 8), caracterizado por el hecho de que antes de admitir aire en la cámara de vacío (V) se introduce un gas en los recubrimientos, mediante el cual se soplan fuera, a través de los recubrimientos los cuerpos sólidos del grupo, polvo y partículas y se evita la penetración de cuerpos sólidos en los recubrimientos.
申请公布号 ES2249745(T3) 申请公布日期 2006.04.01
申请号 ES20040007325T 申请日期 2004.03.26
申请人 APPLIED FILMS GMBH & CO. KG 发明人 HEIN, STEFAN;KLEMM, GUNTER
分类号 B65H5/02;B08B5/02;B08B5/04;B65H23/025;B65H27/00;C23C14/56;D06C3/06;D21G1/02;F16C13/00;H01L21/02;(IPC1-7):F16C13/00 主分类号 B65H5/02
代理机构 代理人
主权项
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