| 摘要 |
<p>Es wird eine interferometrische Messvorrichtung (1) zur Vermessung eines Messobjektes (5), insbesondere zur Dickenmessung des Messobjektes (5), vorgeschlagen. Dabei ist ein Spezialobjektiv (45) mit einer Spiegelanordnung (40) vorgesehen, die aus mindestens einem ersten (60) und einem zweiten Ablenkspiegel (65) besteht und diese derart angeordnet sind, dass die auf den ersten (60) bzw. auf den zweiten Ablenkspiegel (65) einfallenden Objektstrahlen (25) auf eine erste (70) bzw. dazu parallele zweite Seite (75) des zu messenden Messobjektes (5) in einem ersten (80) bzw. zweiten zueinander antiparallelen Strahlengängen (85) gerichtet werden. Die Spiegelanordnung (40) weist zusätzlich mindestens einen ersten Positionsspiegel (70) zur Abbildung der Position des zu messenden Messobjektes (5) relativ zum ersten (60) und/oder zweiten Ablenkspiegel (65) auf.</p> |
