| 发明名称 |
MESSUNG EINER DIFRAKTIONSSTRUKTUR, BREITBANDIG, POLARISIEREND UND ELLIPSOMETRISCH UND EINE UNTERLIEGENDE STRUKTUR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69922942(T2) |
申请公布日期 |
2006.03.30 |
| 申请号 |
DE1999622942T |
申请日期 |
1999.02.25 |
| 申请人 |
KLA-TENCOR CORP., SAN JOSE |
发明人 |
XU, YIPING;ABDULHALIM, IBRAHIM |
| 分类号 |
G01B11/02;G01B11/06;G01N21/21;G01N21/27;G01N21/95;G01N21/956;G03F7/20;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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