衬底检测装置

摘要

本发明公开一种衬底检测装置，其用于检测LCD衬底表面的缺陷。衬底检测装置能检测整个大尺寸衬衬底固定台改变衬底位置，从而使衬底检测装置的高度和占地面积最小化。

主权项

1.一种衬底检测装置，包括：一个表面照明系统，其照亮衬底表面以检测衬底表面缺陷；以及一个衬底定位系统，其将衬底置于表面照明系统的下方以检测衬底表面缺陷，其中表面照明系统固定地安装于一个辅助框架，所述辅助框架围住表面照明系统，以及其中：辅助框架在其一侧通过铰链耦联到一主框架，从而可枢转地运动以沿垂直衬底的方向照亮衬底；并且辅助框架在其另一侧通过驱动单元耦联到主框架，所述驱动单元能朝着或远离主框架而推动或拉动辅助框架。