热泡式微型惯性感测元

摘要

本发明提供一种热泡式微型惯性感测元，是为一以微加工技术形成的微型装置，其是在一基板上设置一加热器，且在加热器的四周对称设有四组温度感测元，以感测加热器周围的温度变化，在基板上设有一封盖，其是包覆加热器及温度感测元以密封的，使一液相流体填充于封盖与基板形成的空间内；利用加热器加热液相流体，使之汽化形成一热汽泡于液相流体环境中，借由水的表面张力及温度控制可以控制汽泡的大小，以使加热器四周的温度感测元感测到温度分布的变化，以作为一倾斜计以感测倾斜的方向及大小，亦可作为一加速规以量测加速度的方向及大小。本发明具有无质量块、反应速度快，灵敏度高、体积小等优点。

主权项

1.一种热泡式微型惯性感测元，其特征在于，包括：一基板；一加热器，设置在基板上；至少二温度感测元，分别对称设置在加热器的周围且位于基板上，以感测加热器周围的温度变化；一封盖，设置在基板上且包覆加热器及温度感测元以密封之；以及一液相流体，填充于封盖与基板的空间内；在基板上开设一凹槽，使加热器及温度感测元悬浮于基板的凹槽上方。