并行像散三维光聚焦探测方法及装置

摘要

并行像散三维光聚焦探测方法及装置，特征是将点光源准直，分割会聚获得二维点光源阵列；对被测物表面反射的光进行像散，采用同光斑光强差动算法，以CCD探测面实现光斑阵列图像探测。光学探头以中心点同处在光轴线a上、自一侧至另一侧依次设置为点光源、准直透镜、微透镜阵列、针孔阵列、分束镜、物镜和可轴向移动的被测物件，特征是在垂直于光轴线a的方向上、位于探测面前方，设置像散透镜，像散透镜及探测面的中心点在光轴线b上，其中心点连线垂直并相交于光轴线a、交点在分束镜中心，像散透镜、探测面所在平面均垂直于光轴线b、与分束镜的反射面相对。本发明能有效抑制光源噪声和漂移产生的影响，提高测量精度；可在较大采样间距下获得高的轴向分辨率，解决测量分辨率和测量速度间的矛盾。

主权项

1、并行像散三维光聚焦探测方法，其特征是将点光源准直，再通过分割会聚获得二维点光源阵列；对被测物表面反射的光进行像散，并采用同光斑光强差动算法，以CCD探测面实现光斑阵列图像探测。