发明名称 |
基板的处理装置 |
摘要 |
本发明提供一种处理装置,能够提高其刚性并且不使形成处理槽的板材变厚。该用于处理基板的处理装置包括:处理槽(1),通过板材而形成为上面开口的箱体状,在一个侧面上形成有所述基板的搬入口(2),而在另一个侧面上形成有搬出口(3);增强框架(7),沿着所述处理槽的上部的外周表面而一体设置,用于加固形成该处理槽的板材;和盖部件(16),被安装在该增强框架上,对所述处理槽的上面开口进行开闭。 |
申请公布号 |
CN1753150A |
申请公布日期 |
2006.03.29 |
申请号 |
CN200510105127.0 |
申请日期 |
2005.09.22 |
申请人 |
芝浦机械电子株式会社 |
发明人 |
末吉秀树;矶明典 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);H01L21/30(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
北京纪凯知识产权代理有限公司 |
代理人 |
沙捷 |
主权项 |
1.一种基板的处理装置,用于处理基板,其特征在于,包括:处理槽,通过板材而形成为上面开口的箱体状,在其一个侧面上形成有所述基板的搬入口,在其另一个侧面上形成有搬出口;增强框架,沿着所述处理槽的上部的外周表面而一体设置,用于加固形成该处理槽的板材;和盖部件,被安装在该增强框架上,用于开闭所述处理槽的上面开口。 |
地址 |
日本神奈川 |