发明名称 Metal carbonyl vapour deposition apparatus and process
摘要
申请公布号 ZA200504643(B) 申请公布日期 2006.03.29
申请号 ZA20050004643 申请日期 2006.02.09
申请人 发明人 TEREKHOV, DMITRI, S.;MOHAMMAD AL QUAYYUM;KHOZAN, KAMRAN, M.
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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