发明名称 DEVICE AND METHOD FOR THE EVAPORATIVE DEPOSITION OF A HIGH-TEMPERATURE SUPERCONDUCTOR IN A VACUUM WITH CONTINUOUS MATERIAL INTRODUCTION
摘要
申请公布号 EP1558782(B1) 申请公布日期 2006.03.29
申请号 EP20030795784 申请日期 2003.10.15
申请人 THEVA DUENNSCHICHTTECHNIK GMBH 发明人 KINDER, HELMUT
分类号 C23C14/28;C23C14/00;C23C14/08;C23C14/24;C23C14/30 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
主权项
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