压电谐振器以及包含它的压电滤波器、双工器和通信装置

摘要

一种包括衬底和振子的压电谐振器。振子包含薄膜部分，其包含至少一个设置在衬底上的压电薄膜层；和设置在衬底上的至少一对上电极和下电极。振子有这样的结构，其中薄膜部分通过在振子的深度方向上彼此相对的上电极和下电极，夹在振子的上表面和下表面之间；和由相对的上电极和下电极确定的振子重叠部分，从衬底的深度方向观看，具有区别于长方形和正方形的四边形形状，四边形形状具有基本平行的边，其纵向长度大体上等于或小于约10倍振荡波长，并且有至少一部分，其中相对的电极边缘之间的距离是变化的。

主权项

1.一种压电谐振器，其特征在于包括：衬底；和振子，其包含：包含至少一个压电薄膜层的设置在衬底上的薄膜部分；和设置在衬底上的至少一对上电极和下电极；其中，振子有这样的结构，其中薄膜部分通过在振子的深度方向上彼此相对的上电极和下电极，夹在振子的上表面和下表面之间；和从衬底的深度方向观看，由相对的上电极和下电极确定的振子重叠部分具有区别于长方形和正方形的四边形形状，所述四边形形状具有基本平行的边，其纵向长度大体上等于或小于约10倍振荡波长，并且所述四边形形状有至少一个部分，在该部分中相对的电极边缘之间的距离是变化的。