发明名称
摘要
申请公布号 JP2006510217(A) 申请公布日期 2006.03.23
申请号 JP20040560131 申请日期 2003.12.08
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/51 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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