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发明名称 FABRICATION METHOD OF DUAL DAMASCENE INTERCONNECTION OF MICROELECTRONIC DEVICE AND DUAL DAMASCENE INTERCONNECTION STRUCTURE
摘要
申请公布号 KR20060026223(A) 申请公布日期 2006.03.23
申请号 KR20040075071 申请日期 2004.09.20
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHUNG, JIN SUNG;SHIN, CHUNG HWAN
分类号 H01L21/28;H01L21/3205 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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