一种用热解石墨材料制造大功率电子管栅极的方法

摘要

一种用热解石墨材料制造大功率电子管栅极的方法，属电子器件技术领域，用于解决石墨栅极掉粉打火的问题。其技术方案是：在真空炉中用天然石墨芯模制作栅极毛坯；在毛坯上进行精密机加工，用喷砂或电火花打孔的方法制出栅极网孔；将已机加工后的热解石墨网状栅极再一次放进热解石墨真空炉中，在栅极网上进行二次沉积，使之再沉积一层热解石墨层表面。本发明消除了由于机加工所破坏的热解石墨栅极晶体表面，从而得到优良的高压性能，它简单易行，解决了几十年来没有解决的技术难题，并可大大缩小电子管的结构尺寸，使制造特大功率电子管成为可能，同时，它也大大降低了电子管的制造和使用成本。

主权项

1.一种用热解石墨材料制造大功率电子管栅极的方法，其特征在于，它采用如下工艺步骤：a.将一天然石墨芯模作为栅极毛坯的胎模，置于热解石墨真空炉中，炉中充以纯丙烷气体，加高温至1700℃以上，丙烷在高温下分解为氢和碳，分解出的碳原子附着在天然石墨胎模上，随时间增加沉积石墨层厚度增加，到所需厚度尺寸时停止沉积，取出毛坯；b.毛坯取出后，按栅极零件设计尺寸进行精密内外圆加工，再用喷砂或电火花打孔方法制出栅极网孔；c.将已机加工后的热解石墨网状栅极再一次放进热解石墨真空炉中，第二次在栅极网上进行沉积，使之再沉积一层热解石墨层表面。