发明名称 APPARATUS AND METHODE OF MANUFACTURING A THIN FILM
摘要
申请公布号 KR20060025635(A) 申请公布日期 2006.03.22
申请号 KR20040074358 申请日期 2004.09.17
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KWON, SEONG GYU;KIM, BYOUNG JOO;KIM, JANG SUB;KANG, YOON HO
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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