| 主权项 |
1.一种可切割出曲线之线锯切割机,包括: 一机台主体; 一滚轮系统,用以支撑一锯线成一张力状态,该滚 轮系统包括一出料滚轮、一收料滚轮、复数个被 动滚轮及复数个张力调整滚轮,其中该出料滚轮系 用以缠绕该锯线,该等被动滚轮系用以支撑该锯线 ,该等张力调整滚轮系用以调整该锯线之张力,该 收料滚轮系用以卷收已切割后之锯线; 一夹具组,用以夹持且旋转一工件; 一移动机构,系用以支撑该夹具组,且可于该机台 主体上做水平及垂直方向之移动,以带动工件移动 ;及 一摇摆式机构,系为一框架外型,其包括二导引杆 及一转动杆,该等导引杆之前端分别具有一导引头 ,该转动杆系位于该等导引杆中间,且与该机台本 体枢接,该二导引头系分别位于该工件之二侧,其 系用以支撑且导引该锯线,当该摇摆式机构摇摆动 作动,可使该锯线接触且切割该工件。 2.如申请专利范围第1项之线锯切割机,其中该工件 系为一晶圆。 3.如申请专利范围第1项之线锯切割机,更包括一磨 料提供装置,系用以提供磨料至该锯线与该工件接 触处。 4.如申请专利范围第1项之线锯切割机,更包括一微 细放电装置,其系用以对该锯线于进入与该工件接 触处之前做微细放电。 5.如申请专利范围第1项之线锯切割机,更包括一第 一动力提供装置及一驱动轴,该动力提供装置系用 以驱动该驱动轴,该出料滚轮及该收料滚轮系皆位 于该驱动轴上,同时接受该动力提供装置之驱动。 6.如申请专利范围第1项之线锯切割机,其中该等张 力调整滚轮依序包括一第一调整滚轮、一第二调 整滚轮及一第三调整滚轮,其中该第一调整滚轮及 第三调整滚轮系固设于该机台主体上,该第二调整 滚轮系透过一调整机构与该机台主体相枢接。 7.如申请专利范围第6项之线锯切割机,其中该调整 机构包括一移动杆及一弹性体,该移动杆之一端系 固设该第二调整滚轮,另一端系顶抵该弹性体。 8.如申请专利范围第1项之线锯切割机,其中该移动 机构包括一水平平台及一垂直平台,该水平平台具 有一轨道以供该夹具组于其上做水平方向之直线 移动,该水平平台系为一柱状结构,其一端为自由 端,另一端于该垂直平台上做垂直方向之直线移动 。 9.如申请专利范围第1项之线锯切割机,其中该等导 引杆之上方分别固设一固定杆,每一固定杆之二端 分别固设一滚轮。 10.如申请专利范围第1项之线锯切割机,更包括一 摇摆驱动装置,其系与该摇摆式机构相枢接,用以 驱动该摇摆式机构。 11.如申请专利范围第10项之线锯切割机,其中该摇 摆驱动装置包括一连杆、一偏心块及一第二动力 提供装置,该连杆之一端系枢接该摇摆装置,另一 端系枢接该偏心块,该偏心块系固定于该第二动力 提供装置。 12.如申请专利范围第1项之线锯切割机,更包括一 控制装置,其系电气连接该滚轮系统、该夹具组、 该移动机构及该摇摆式机构,以控制该锯线之速度 及该工件之进给。 13.如申请专利范围第1项之线锯切割机,其中该夹 具组包括: 二压克力板,系用以夹持该工件; 复数个夹片,系用以扣紧该等压克力板; 一夹持具,系用以夹持该等压克力板之下端; 一旋转台,系供该夹持具固设于其上; 一基座,系与该旋转台相枢接,使该旋转台可转动; 及 一移动座,系供该基座固设于其上,该移动座系于 该移动机构上移动。 图式简单说明: 图1显示习用线锯切割机之示意图; 图2显示光导波元件于矽晶片中之切割示意图; 图3显示本发明较佳实施例之线锯切割机之立体示 意图; 图4显示图3中张力调整滚轮、出料滚轮及收料滚 轮之立体示意图; 图5显示图3中夹具组及移动机构之立体示意图; 图6显示图3中夹具组之立体示意图; 图7显示图3中摇摆式机构之立体示意图;及 图8显示图7之摇摆式机构之作动示意图。 |
