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经营范围
发明名称
EXPOSING DEVICE WITH INTERFEROMETER
摘要
申请公布号
KR20060024622(A)
申请公布日期
2006.03.17
申请号
KR20040073429
申请日期
2004.09.14
申请人
HYNIX SEMICONDUCTOR INC.
发明人
EOM, TAE SEUNG
分类号
G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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