处理沈积方法元件以形成粒子阱之方法及具粒子阱之沈积方法元件

摘要

本发明包括用于沿物理气体沈积(PVD)元粒子阱之方法，且包括其上具有粒子阱之P明可包括将高可溶性介质用于喷珠及／或可料用作喷珠介质。本发明亦可包括沿一底板成粒子阱之位置形成一嵌件，且该嵌件系一更佳之粒子阱性质的组合物。