测量光学层或光学层系统之物理特性的方法

摘要

本发明系有关于一种利用光谱穿透及／或反射测量以决定光学层或层系统之物理特性的方法，根据穿透及／或反射测量的光谱，波长相关折射率n0及／或消光系数k0的参考值从已知的值中被选择或被实验决定，且将层特征化的变化系由折射率与消光系数的波长相关变化常数Kn及Kk加以描述。