藉由感应加热以制造奈米结构之装置与方法

摘要

一种用于制造奈米结构之装置与方法。在一实施例中，此装置具有制程室，其具有：反应区；导电基座，具有设置于反应区中之催化剂；装置，用于在反应区中提供随时间改变之电磁场，而在导电基座中感应电流以产生热流；以及装置，用于在一组条件下将含碳气体供应至反应区与催化剂反应，以允许形成奈米结构。