湿式抗反射化合物薄膜之涂布方法

摘要

本发明系涉及一种湿式抗反射化合物薄膜之涂布方法，该方法系包括下列步骤：(a)提供并清洗一基材；(b)提供一成膜液，该成膜液系由用以形成薄膜之化合物溶于于易挥发之溶剂内而组成；(c)在室温下将成膜液均匀涂布于基材表面，确认基材表面之液体在室温下完全挥发后，即完成单层薄膜之涂布而无须热处理；以及(d)依需求重复步骤(c)，以完成所需之涂布层数。