| 摘要 |
本发明为提供一种于有机溶剂中溶解有(A)光阻用树脂成份，及(B)酸产生剂成份所得之正型光阻组成物，其中前述(A)成份为含有(A1)具有下述结构单位(a1)、结构单位(a2)与结构单位(a3)之基于酸之作用而增大硷可溶性之光阻用树脂成份。结构单位(a1)：下述式(1)所示单位；结构单位(a2)：由含有具内酯之单环或多环式基之(α–低级烷基)丙烯酸酯所衍生之单位；结构单位(a3)：由含有具极性基之多环的脂环式烃基之(α–低级烷基)丙烯酸酯所衍生之单位。094113136-p01.bmp(式中，R为氢原子或低级烷基，R^11为链状之三级烷基所形成之酸解离性溶解抑制基)。094113136-p01.bmp |
