| 摘要 |
本发明之目的为提供操作性及基体表面的凹凸追随性优良、可抑制感光层之感度降低、同时可形成高精细图案的图案形成材料，以及具备该图案形成材料的图案形成装置，使用上述图案形成材料的图案形成方法。因此，提供一种图案形成材料，其特征为在支持体上依顺序具有缓冲层及感光层，以该缓冲层的黏性系数当作η1且以该感光层的黏性系数当作η2时，于80℃至120℃范围内的温度T℃中各自黏性系数满足η1≦η2的关系，以及提供具备该图案形成材料的图案形成装置，及图案形成方法，其特征为至少包含对上述图案形成材料的感光层进行曝光。 |
