| 摘要 |
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen eines eine Elektrodenstruktur (80) aufweisenden Kondensators (130, 140), bei dem auf ein Substrat (10) eine Hilfsschicht (40) aufgebracht wird, eine die Form der Elektrodenstruktur (80) bestimmende Ausnehmung (60) in die Hilfsschicht (40) geätzt wird und in der Ausnehmung die Elektrodenstruktur des Kondensators gebildet wird. DOLLAR A Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Herstellen eines Kondensators anzugeben, bei dem sich die gewünschte Form bzw. räumliche Ausgestaltung der Elektrodenstruktur des Kondensators besonders einfach und mit möglichst geringen Abweichungen von der vorgegebenen "Soll-Form" bzw. von vorgegebenen "Soll-Parametern" herstellen lässt. DOLLAR A Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, dass als Hilfsschicht eine Halbleiterschicht (40) verwendet wird.
|
