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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MONOSCHICHTEN
摘要
申请公布号 AT319189(T) 申请公布日期 2006.03.15
申请号 AT20000928141T 申请日期 2000.04.06
申请人 AUBURN UNIVERSITY 发明人 VODYANOY, VITALY JACOB;CHIN, BRYAN ALLEN;BARBAREE, JAMES MARTIN;NEELY, WILLIAM CHARLES;PATHIRANA, SURAM THERESE;HSIEN, YUN-HWA PEGGY;ZEE, RALPH HING-CHUNG;WIKLE, HOWARD CLYDE, III
分类号 G01N33/543;G01N33/544;G01N33/552;(IPC1-7):H01L37/02;B32B9/00;B32B9/04;C12N11/02;C12N11/08;G01N33/545;H01L41/18 主分类号 G01N33/543
代理机构 代理人
主权项
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