清洗装置

摘要

本发明提供一种能去除附着在由金属薄膜所构成的屏蔽上的有机材料的清洗装置。本发明的清洗装置具有：由预定的清洗液清洗处理屏蔽10的第1及第2清洗槽21、22；用以真空蒸馏该清洗槽21、22的清洗液的真空蒸馏器30；将真空蒸馏的清洗液冷却至室温的第1冷却器31；使由第1冷却器31所冷却的清洗液回流至第2清洗槽22的第1回流管101；利用预定的冲洗液对屏蔽10进行冲洗处理的第1及第2冲洗槽51、52；在常压下蒸馏该冲洗槽51、52的清洗液的常压蒸馏器60；将常压蒸馏的冲洗液冷却至室温的第2冷却器61；使由第2冷却器61所冷却的冲洗液回流至第2冲洗槽52的第2回流管102。

主权项

1.一种清洗装置，用以去除附着在由金属薄膜所构成的屏蔽上的有机EL用的有机材料，其特征为具有：由预定的清洗液清洗处理前述屏蔽的清洗槽；从前述清洗槽真空蒸馏溢流的前述清洗液的真空蒸馏器；将由前述真空蒸馏器真空蒸馏的前述清洗液冷却至室温的第1冷却器；使由前述第1冷却器所冷却的前述清洗液回流至前述清洗槽的第1回流管；利用预定的冲洗液对通过前述清洗槽清洗的前述屏蔽进行冲洗处理的冲洗槽；在常压下蒸馏从前述冲洗槽溢流的前述冲洗液的常压蒸馏器；将由前述常压蒸馏器常压蒸馏的前述冲洗液冷却至室温的第2冷却器；使由前述第2冷却器所冷却的前述冲洗液回流至前述冲洗槽的第2回流管。