| 发明名称 | 偏振光栅 | ||
| 摘要 | 一种偏振光栅，包括透明基底，形成覆盖透明基底的偏振滤光片，和形成在偏振滤光片上的掩模图案。偏振光栅在光刻处理中可以使入射的照明光沿所需方向偏振。 | ||
| 申请公布号 | CN1746726A | 申请公布日期 | 2006.03.15 |
| 申请号 | CN200510009121.3 | 申请日期 | 2005.02.03 |
| 申请人 | 海力士半导体有限公司 | 发明人 | 梁起豪;姜春守 |
| 分类号 | G02B27/28(2006.01);G03F7/20(2006.01) | 主分类号 | G02B27/28(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 马高平;杨梧 |
| 主权项 | 1.一种偏振光栅，包括：一透明基底；一偏振滤光片，形成为覆盖所述透明基底；和一掩模图案，形成在所述偏振滤光片上。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||