差分式抗高过载微型隧道加速度计及其制备方法

摘要

本发明提供一种差分式隧道加速度计，具体公开该差分式隧道加速度计的结构及其制备方法。本发明的差分式抗高过载隧道加速度计，包括玻璃衬底，玻璃衬底上电信号连接引线，玻璃衬底通过锚点与支撑梁，固定梳齿电极和隧尖相连接。支撑梁与质量块、可动梳齿电极相连。其特点是敏感结构为对称结构，辅以差分式反馈控制电路，实现了差分式隧道加速度计；隧尖与玻璃衬底之间的连接为弹性连接而不是刚性连接，该结构提高了器件的抗高过载能力；在制备方法上，设计了成套的差分式隧道加速度计制备方法，其中主要包括阳极键合、电感耦合等离子体刻蚀工艺和聚焦离子束工艺等工艺。

主权项

1.一种差分式抗高过载微型隧道加速度计，包括玻璃衬底，玻璃衬底上电信号连接引线，其特征在于：采用抗高过载差分式敏感结构和差分式反馈控制电路；差分式敏感结构包括质量块、固定梳齿、活动梳齿，支撑梁和弹性隧尖、电连接引线和压焊电极；玻璃衬底通过锚点与支撑梁、固定梳齿电极和隧尖相连接，支撑梁与质量块、可动梳齿电极相连；隧尖位于结构正中央，隧尖包括左右对称的两个隧尖；隧尖与玻璃衬底之间的连接为弹性连接而不是刚性连接；差分式反馈控制电路包括，共用的偏置和基准电路，对称的滤波和反馈电路。