| 发明名称 | 微型结构体的检验装置、检验方法及检验程序 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种以简易方式高精度地检验具有微小可动部分的结构体的检验装置、检验方法及检验程序。在本发明中，从扬声器(2)输出测试声波。随着从扬声器(2)输出的作为压缩波的测试声波的到达、即空气振动，检测芯片(TP)的微型结构体、即三轴加速度传感器的可动部分动作。根据经由探针(4)施加的输出电压来测量随着该动作而变化的阻值变化。控制部(20)根据测出的特性值、即测量数据来判断三轴加速度传感器的特性。 | ||
| 申请公布号 | CN1746683A | 申请公布日期 | 2006.03.15 |
| 申请号 | CN200510076693.3 | 申请日期 | 2005.06.13 |
| 申请人 | 奥克泰克有限公司;东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 奥村腾弥;八壁正巳;池内直树;松本俊行 |
| 分类号 | G01P21/00(2006.01) | 主分类号 | G01P21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王怡 |
| 主权项 | 1.一种微型结构体的检验装置，用于评价至少一个微型结构体的特性，该微型结构体具有形成于基板上的可动部分，其中，所述检验装置包括在进行测试时向所述微型结构体输出测试声波的声波发生装置，并且检测所述微型结构体的可动部分的动作，并基于检测结果评价所述微型结构体的特性，所述可动部分的动作是响应由所述声波发生装置输出的所述测试声波而发生的。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||