| 主权项 |
1.一种在真空槽中运输基板之线性运动装置,该线 性运动装置具备: 安装在该真空槽内之一线性轴承; 用以配接及支持待运输之基板,并安装在该线性轴 承上作线性运动之至少一个末端效应器; 安装在线性运动装置上并用以罩封一压力槽之罩 壳,该压力槽系与该真空槽隔离者;及 安装在该罩壳内并操作性连接该至少一个末端效 应器以启动该末端效应器之运动之一驱动系统,其 中该驱动系统系通过一动力密封物连接至该末端 效应器,藉以维持该压力槽与该真空槽之隔离。 2.如申请专利范围第1项所述之在真空槽中运输基 板之线性运动装置,其中该线性轴承另外具备: 固定于该线性运动装置上之至少一个轴承轨条; 连接于该至少一个末端效应器上并安装以提供在 该轴承轨条上作线性运动之至少一个轴承块;及 用以截留该线性轴承所产生之微粒污染物之迷宫 式密封物。 3.如申请专利范围第1项所述之在真空槽中运输基 板之线性运动装置,其中该压力槽系大致维持于大 气压力。 4.如申请专利范围第1项所述之在真空槽中运输基 板之线性运动装置,其中该驱动系统另外具备: 安装在轴柄上以在该装置上旋转之绞盘; 螺旋式卷绕于该绞盘上,且其中一端系连接至该至 少一个末端效应器上之电缆,于是当绞盘旋转时, 电缆之一端系卷绕于该绞盘,而另一端则未予卷绕 ,导致该至少一个末端效应器在该线性轴承上之运 动;及 其中该驱动系统系操作式连接于该轴柄以导致该 绞盘之旋转,其中该轴柄在延伸通过该罩壳时系被 动力密封物所包围,藉此使该罩壳之压力槽与该真 空槽密封隔离。 5.如申请专利范围第4项所述之在真空槽中运输基 板之线性运动装置,其中该电缆系利用弹簧连接至 该至少一个末端效应器上,另外该电缆系向该弹簧 经过预拉者。 6.如申请专利范围第1项所述之在真空槽中运输基 板之线性运动装置,其中该驱动系统另外包括安装 在该压力槽内之控制器及编码器。 7.一种在真空槽中运输基板之自动操纵装置,该自 动操纵装置具备: 具有中央轴并固定于该真空槽中之自动操纵装置 本体,该自动操纵装置本体系围封着与该真空槽隔 离之第一压力槽; 提供沿着该轴作旋转及平移运动之第一驱动系统, 该驱动系统系安装于该第一压力槽内;及 安装于该自动操纵装置中位于该真空槽内,并操作 连接于该第一驱动系统以供在其上移动之线性运 动装置,该线性运动装置另外具备: 安装在该真空槽内之一线性轴承; 用以配接及支持待运输之基板,并安装在该线性轴 承上作线性运动之至少一个末端效应器; 安装在线性运动装置上并用以罩封第二压力槽之 罩壳,该第二压力槽系与该真空槽隔离者;及 安装在该罩壳内并操作性连接该至少一个末端效 应器以启动该末端效应器之运动之第二驱动系统, 其中该第二驱动系统系通过一动力密封物连接至 该末端效应器,藉以维持该第二压力槽与该真空槽 之隔离。 8.如申请专利范围第7项所述之在真空槽中运输基 板之自动操纵装置,其中该线性轴承另外具备: 固定于该线性运动装置上之至少一个轴承轨条; 连接于该至少一个末端效应器上并安装以提供在 该轴承轨条上作线性运动之至少一个轴承块;及 用以截留该线性轴承所产生之微粒污染物之迷宫 式密封物。 9.如申请专利范围第7项所述之在真空槽中运输基 板之自动操纵装置,其中该压力槽系大致维持于大 气压力。 10.如申请专利范围第7项所述之在真空槽中运输基 板之自动操纵装置,其中该驱动系统另外具备: 安装在轴柄上以在该装置上旋转之绞盘; 螺旋式卷绕于该绞盘上,且其中一端系连接至该至 少一个末端效应器上之电缆,于是当绞盘旋转时, 电缆之一端系卷绕于该绞盘,而另一端则未予卷绕 ,导致该至少一个末端效应器在该线性轴承上之运 动;及 其中该驱动系统系操作式连接于该轴柄以导致该 绞盘之旋转,其中该轴柄在延伸通过该罩壳时系被 动力密封物所包围,藉此使该罩壳之压力槽与该真 空槽密封隔离。 11.如申请专利范围第10项所述之在真空槽中运输 基板之自动操纵装置,其中该电缆系利用弹簧连接 至该至少一个末端效应器上,另外该电缆系向该弹 簧经过预拉者。 12.如申请专利范围第7项所述之在真空槽中运输基 板之自动操纵装置,其中该驱动系统另外包括安装 在该压力槽内之控制器及编码器。 13.一种在真空槽中运输基板之线性运动装置,该线 性运动装置具备: 具有一对脚部及一桥接部之U-形罩壳,该罩壳系被 安装于在该真空槽中,该罩壳系围罩着压力槽,该 压力槽系与该真空槽隔离者; 安装在其中一个该脚部之第一线性轴承,及分开安 装在另一个该脚部之第二线性轴承; 用以配接及支持待运输之基板之第一及第二末端 效应器,分别安装以提供在该线性轴承上之线性运 动; 分别安装在该罩壳中并操作性连接该第一及第二 末端效应器以导致该末端效应器之移动之第一及 第二驱动系统,其中该驱动系统系驱动系统系通过 一动力密封物连接至各该末端效应器,藉以维持该 压力槽与该真空槽之隔离。 14.如申请专利范围第13项所述之在真空槽中运输 基板之线性运动装置,其中该装置另外具备: 具有中央轴并固定于该真空槽中之自动操纵装置 本体,该自动操纵装置本体系围封着与该真空槽隔 离之第二压力槽; 提供沿着该轴作旋转及平移运动之第三驱动系统, 该第三驱动系统系安装在该第二压力槽中;及 其中该线性运动装置系安装在该自动操纵装置本 体上并操作性连接该第二驱动系统以提供在其上 之移动。 15.如申请专利范围第13项所述之在真空槽中运输 基板之线性运动装置,其中该U-形罩壳之定向使其 中一脚部叠置在另一脚部之上,于是其中一末端效 应器具有在另一末端效应器之上之运动平面。 图式简单说明: 第1图系本发明可使用之连续处理系统之示意图; 第2图系本发明之自动操纵装置之示意透视图; 第3图系第2图所示之自动操纵装置之示意透视图, 显示本发明之一线性运动装备; 第4图系第3图之A扩大详图; 第5图系本发明之电缆驱动系统之示意透视图; 第6图系第5图之B扩大详图; 第7图系线性轴承驱动组件之剖视示意透视图;及 第8图系第7图之C扩大详图。 |
