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发明名称 DEPOSITION METHOD OF WAFER
摘要
申请公布号 KR100559561(B1) 申请公布日期 2006.03.10
申请号 KR20030053594 申请日期 2003.08.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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