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发明名称 BELL JAR HAVING INTEGRAL GAS DISTRIBUTION CHANNELING
摘要
申请公布号 KR100559198(B1) 申请公布日期 2006.03.10
申请号 KR20000076881 申请日期 2000.12.15
申请人 发明人
分类号 C23C16/455;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/324 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
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