发明名称 |
上发光型有机发光二极管像素的制造方法及其结构 |
摘要 |
一种上发光型有机发光二极管像素的制造方法和结构,其制造方法步骤包括:在基板上限定出至少两个多晶硅岛并限定出掺杂植入区域;依次淀积栅极绝缘层和栅极金属层,并限定出栅极;进行离子植入,形成掺杂区域;淀积层间介电层,并挖开接触孔;淀积源极/漏极金属层,限定出源极/漏极图案,并且该源极/漏极图案延伸至上发光型有机发光二极管的像素区,以作为该上发光型有机发光二极管的下电极。其结构上的特征在于,该上发光型有机发光二极管的下电极由该薄膜晶体管的源极/漏极金属层延伸至该上发光型有机发光二极管的像素区形成。 |
申请公布号 |
CN1743928A |
申请公布日期 |
2006.03.08 |
申请号 |
CN200410057274.0 |
申请日期 |
2004.08.30 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 |
发明人 |
吴永富;郑君丞;叶永辉 |
分类号 |
G02F1/136(2006.01);G02F1/133(2006.01);H01L21/00(2006.01);H01L33/00(2006.01);H01L27/15(2006.01) |
主分类号 |
G02F1/136(2006.01) |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 |
代理人 |
梁挥;徐金国 |
主权项 |
1、一种上发光型有机发光二极管的像素制造方法,其中以互补金属氧化物半导体CMOS作为驱动,其特征在于,该方法包括如下步骤:(a)提供一基板,在该基板上限定出至少两个多晶硅岛;(b)在该基板上限定出N+植入区域;(c)依次淀积栅极绝缘层和栅极金属层,并限定出栅极;(d)进行N-植入,以形成轻掺杂漏极LDD区域;(e)用光阻遮住N型元件的预定区,并暴露P型元件的预定区,以进行P+掺杂;(f)淀积层间介电层,并挖开接触孔;以及(g)淀积源极/漏极金属层,限定出源极/漏极图案,并且该源极/漏极金属延伸至上发光型有机发光二极管的像素区,以作为该上发光型有机发光二极管的下电极。 |
地址 |
台湾省新竹县 |