发明名称 |
高精度印刷法制作有机薄膜晶体管的方法 |
摘要 |
一种高精度印刷制作有机薄膜晶体管的方法,主要包括有下列步骤:形成栅极(Gate)于一基板上,形成一绝缘层(Insulator layer)于该基板上,形成一导线电极膜于该绝缘层上,形成一有机中间层,形成一有机半导体层于该有机中间层上,形成一高分子定义信道宽度层于该有机半导体层上,形成一有机电极膜,形成一有机保护层,其中,形成各层的方法可用喷墨印刷法(Inject Printing)、网版印刷法(Screen Printing)、刮刀涂布法(Blade Coating)、辊涂法(Roller Coating)、纳米压印法(Nanoimprinting)、微接触印刷法(Micro Contact Printing)或旋涂法(Spin Coating)等等的高精度印刷方式。 |
申请公布号 |
CN1744343A |
申请公布日期 |
2006.03.08 |
申请号 |
CN200410073657.7 |
申请日期 |
2004.09.02 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 |
发明人 |
何家充;黄良莹;胡堂祥;李正中 |
分类号 |
H01L51/40(2006.01);H01L51/05(2006.01) |
主分类号 |
H01L51/40(2006.01) |
代理机构 |
北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
孙皓晨 |
主权项 |
1、一种高精度印刷法制作有机薄膜晶体管的方法,其特征在于其步骤包括:(a)形成栅极于一基板上;(b)形成一绝缘层于该基板和栅极上;(c)形成一导线电极膜于该绝缘层上;(d)形成一有机中间层于绝缘层上未被导线电极膜覆盖处;(e)形成一有机半导体层于该有机中间层上;(f)形成一高分子定义信道宽度层于该有机半导体层上;(g)形成一有机电极膜;(h)形成一有机保护层在有机电极膜和高分子定义信道宽度层上。 |
地址 |
中国台湾 |