对研磨工艺建模以实现受控材料去除

摘要

总的来说，本文叙述的技术是提供一种在不需要使用研磨制造工艺中的反馈控制的情况下，实现控制性能参数的研磨制造工艺，该控制性能参数例如是去除的材料量。例如，系统包括一个使用磨料制品来研磨工件的机器，和一个通过该机器控制磨料制品对工件的应用的控制器，以便实现磨料制品充分恒定的磨削速率。该控制器根据开环数学模型控制一个或多个工艺变量，该开环数学模型将磨料制品的磨削速率与磨料制品的应用力相联系，从而实现控制材料的去除。例如，当根据该模型研磨一个或多个工件时可以实现恒定的磨削速率，并可以去除固定的材料量。

主权项

1.一种方法，包括：当在研磨周期期间被应用于工件类型时，产生磨料制品类型的磨削速率的开环模型，根据该模型使用该磨料制品类型的磨料制品来研磨该工件类型的工件，以便实现基本恒定的磨削速率。