| 发明名称 |
Modified alginic acid of alginic acid derivatives and thermosetting anti-reflective compositions thereof |
| 摘要 |
Modified alginic acid or alginic acid derivatives and anti-reflective coatings based on thereon are described.
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| 申请公布号 |
US7008476(B2) |
申请公布日期 |
2006.03.07 |
| 申请号 |
US20030459229 |
申请日期 |
2003.06.11 |
| 申请人 |
AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. |
发明人 |
WU HENGPENG;XHIANG ZHONG;DING-LEE SHUJI;SHAN JIANHUI;GONZALEZ ELEAZAR B. |
| 分类号 |
G03F7/11;C08B37/04;C08L5/04;G03F7/09 |
主分类号 |
G03F7/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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