| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM REINIGEN DER OBERFLÄCHEN VON DIELEKTRISCHEN POLYMERISCHEN HALBLEITERSCHEIBEN MIT NIEDRIGEM K-WERT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69927840(D1) |
申请公布日期 |
2006.03.02 |
| 申请号 |
DE1999627840 |
申请日期 |
1999.08.26 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORP., FREMONT |
发明人 |
JIANG, LINDA;HYMES, J. |
| 分类号 |
B08B1/04;B08B3/08;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/306 |
主分类号 |
B08B1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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