发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10326893(A) 申请公布日期 1998.12.08
申请号 JP19970133635 申请日期 1997.05.23
申请人 NEC CORP 发明人 MOGAMI TORU
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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