发明名称 雷射光部份影像拾取方法
摘要 刀缘(30)是设置在置于对应于要拾取的一切面影像(光强度分布)的区段之高度,以截断一部份该雷射光(20)区段,该刀缘(30)系以该雷射光(20)照射,及该雷射光的该切面影像是以影像形成光学(40)所放大,及由CCD(50)所拾取。当以此方式拾取该切面影像时,执行该影像形成光学(40)的聚焦,使得在由该刀缘(30)遮蔽的边界部份中的光强度梯度具不小于预先设定标的值的陡峭度,接着,该刀缘(30)自雷射光光学路径缩回,该雷射光系经由该影像形成光学(40)进入该CDD(50),及拾取该雷射光切面影像。
申请公布号 TW200608475 申请公布日期 2006.03.01
申请号 TW094123077 申请日期 2005.07.07
申请人 液晶先端技术开发中心股份有限公司 发明人 十文字正之;松村正清;谷口幸夫;平松雅人;小川裕之;秋田典孝
分类号 H01L21/268 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人 蔡清福
主权项
地址 日本