用于处理衬底的设备和方法

摘要

一种用于处理衬底的群组设备，包括用以接收衬底的负载闭锁腔室、与负载闭锁腔室相邻的传送腔室、每个都具有面对传送腔室的侧面的一个或者多个处理腔室、以及位于传送腔室中用以将衬底装载或者卸载到负载闭锁腔室中或者一个或者多个处理腔室的至少一个中的机器人。旋转台包含在负载闭锁腔室中，用以支承衬底并将衬底旋转到希望取向。衬底具有矩形形状，并且衬底的短边先从外部位置被装载进负载闭锁腔室。旋转台旋转衬底以使衬底的长边指向传送腔室，衬底的长边先被装载进传送腔室，当在一个或者多个处理腔室中的至少一个中进行处理后，旋转台进一步旋转衬底以使衬底的短边指向负载闭锁腔。

主权项

一种用于处理衬底的群组设备，包括：用以接收衬底的负载闭锁腔室；与所述负载闭锁腔室相邻的传送腔室；一个或者多个处理腔室，每个所述处理腔室都具有面对所述传送腔室的侧面；机器人，位于所述传送腔室中，用以将所述衬底装载到所述负载闭锁腔室或所述一个或者多个处理腔室的至少一个中，或者从所述负载闭锁腔室或所述一个或者多个处理腔室的至少一个中卸载；以及旋转台，位于所述负载闭锁腔室中，用以支承所述衬底并将所述衬底旋转到希望取向，其中，所述衬底具有矩形形状，其中，所述衬底的短边先从外部位置被装载进所述负载闭锁腔室，并且所述旋转台旋转所述衬底以使所述衬底的长边指向所述传送腔室，所述衬底的长边先被装载进所述传送腔室，当在所述一个或者多个处理腔室中的至少一个中进行处理后，所述旋转台进一步旋转所述衬底以使所述衬底的短边指向所述负载闭锁腔。