| 主权项 |
1.一种在深紫外光(248~193nm)曝光之光阻剂应用之多 环聚合物,系由一种单体组成物聚合而成,该单体 组成物内含一或多种具有芳香族取代侧基之多环 单体,与选自如后族群中之一种单体择优结合,该 族群包括一或多种具有酸不稳定性取代侧基之多 环单体;一或多种具有中性或极性取代侧基之多环 单体;一或多种具有烃取代侧基之单体;和其间之 组合;该聚合物含有5至100莫耳%之该芳香族取代侧 基,且分子量为Mn=10,000~20,000、Mw=25,000~45,000;其中含 该芳香族取代基之单体以如下结构代表: 式中R1至R4各自代表氢,-(CH2)C(O)OR,其中R为氢或线型 与分枝之(C1至C10)烷基,且一或多个R1至R4为含芳香 族之取代基,选自-G, -(CH2)nG,-C(O)O(CH2)nG,-C(O)NH(CH2)nG,-(CH2)OG, -(CH2)nOC(O)O(CH2)nG,-(CH2)nNHC(O)G; m为0至5之一整数,n独立代表0至5之一整数;且G为一 被一或多个选自如下族群之取代基所取代之芳香 族基,该族群包括-OR14、R15和其间之组合,其中R14代 表氢,线型和分枝之(C1至C10)烷基,-C(O)CH3,四氢喃 基,第三丁基;R15代表氢、溴、氯、氟、碘、氰基, 和-C(O)O-第三-丁基;R1和R4与其所连接环上之两个碳 原子可以共同形成一个有6至14个碳原子之经取代 的芳香族基,其中该取代基为一或多个选自式-OR14 或R15者,其界定如前;R1和R4与其所连接环上之两个 碳原子也可以共同形成一个5员杂环基,含有一或 多个杂原子,其中该杂原子被如上所界定之G取代; 该含酸不稳定性基之单体以如下之结构代表: 式中R5至R8各自代表一取代基,选自 -(A)nC(O)OR*,-(A)n-C(O)OR,-(A)n-OR, -(A)n-OC(O)R,-(A)n-C(O)R,-(A)n-OC(O)OR,-(A)n-OCH2C(O)OR*, -(A)n-C(O)O-A'-OCH2C(O)OR*,-(A)n-OC(O)-A'-C(O)OR*, -(A)n-C(R)2CH(R)(C(O)OR**),和-(A)n -C(R)2CH(C(O)OR**)2 附加条件为一或多个R5至R8选自含有酸不稳定性基 之R*;A和A'各自代表二价桥键或间隔基,选自二价烃 基、其又选自线型和分枝之(C1至C10)伸烷基者;二 价环烃基,其又选自经取代和未经取代之(C3至C8)环 脂基部分,如下式: 式中"a"为自2至7之一整数,而Rq若为存在则代表线 型和分枝之(C1至C10)烷基;二价含氧基,其又选自如 下之(C2至C10)伸烷基醚和多元醚: -(CH2(CH2)xO)y- 式中x为1至5之一整数而y为2至50之一整数,所附条 件是在多元醚间隔基部分上之终端氧原子不可与 相邻基上的终端氧原子直接连接成为一个过氧化 物键;和二价环醚与环二醚,其结构如下之所代表: 而且R*是酸不稳定性基,选自Dcpm、Dmcp、-C(CH3)3、CH( Rp)OCH2CH3、-CH(Rp)OC(CH3)3、和环基如: 或其间之混合物、其中Rp代表氢和线型或分枝之(C 1至C5)烷基;其中该含中性或极性基之单体如以下 之结构所代表: 式中q为一由0至5之整数;R9至R12各自代表氢、线型 或分枝之(C1至C10)烷基,或选自如下族群之 一取代基,包括, -(A)n-C(O)OR〞,-(A)n-OR〞,-(A)n-OC(O)R〞,-(A)n-OC(O)OR〞, -(A)n-C(O)R〞,-(A)n-OC(O)C(O)OR〞,-(A)n-O-A′-C(O)OR〞, -(A)n-OC(O)-A′-C(O)OR〞-(A)n-C(O)O-A′-C(O)OR〞,-(A)n-C(O)- A′-OR〞, -(A)n-C(O)O-A′-OC(O)OR〞,-(A)n-C(O)O-A′-O-A′-C(O)OR〞, -(A)n-C(O)O-A′-OC(O)C(O)OR〞,-(A)n-C(R〞)2CH(R〞)(C(O)OR〞 ),和 -(A)n-C(R〞)2CH(C(O)OR〞)2 , R9和R12可以与其所连接环上之两个碳原子共同代 表一个环状酐基;A和A'各自代表二价桥键或间隔基 ,选自二价径基,其又选自线型和分枝之(C1至C10)伸 烷基;二价环烃基,其又选自如下式已被取代和未 被取代之(C3至C8)环脂基部分: 式中"a"为由2至7之一整数而Rq如若存在则代表线型 和分枝之(C1至C10)烷基;二价含氧基,其又选自(C2至C 10)之伸烷基醚和多元醚,如下式: -(CH2(CH2)xO)y- 式中x为由1至5之一整数而y为自2至50之一整数,所 附条件为在多元醚间隔基部分之终端氧原子不可 与相邻基上之终端氧原子直接连接成为一个过氧 化物键;和如下结构所代表之二价环醚和环二醚: R"独立代表线型和分枝之(C1至C10)烷基,线型或分枝 之(C1至C10)烷氧基伸烷基、多元醚、单环和多环之 (C4至C20)环脂基部分、环醚、环酮、和环酯;且其 中该含烃基单体如下结构代表: 式中R13至R16各自代表氢和线型或分枝之(C1至C10)烷 基;而m为自0至5之一整数。 2.如申请专利范围第1项之聚合物,其中该等单体是 用开环聚合作用聚合而获得一种开环聚合物。 3.如申请专利范围第2项之聚合物,其中该开环聚合 物被氢化。 4.如申请专利范围第1项之聚合物,其中该等单体是 用自由基聚合作用聚合而成。 5.如申请专利范围第1项之聚合物,其中该等单体是 在有催化剂存在下被聚合,该催化剂选自如式En Ni( C6F5)2 之一种化合物,其中n为1或2而E代表一个中性 的2电子供体配合基。 6.如申请专利范围第5项之聚合物,其中该催化剂配 合基E是选自包括甲苯、苯、三甲苯、二乙基醚、 THF和二恶烷之族群。 7.如申请专利范围第6项之聚合物,其中该催化剂是 选自(甲苯)双(全氟苯基)镍,(三甲苯)双(全氟苯基) 镍,(苯)双(全氟苯基)镍,双(四氢喃)双(全氟苯基) 镍和双(二恶烷)双(全氟苯基)镍。 8.如申请专利范围第1项之聚合物,含有如下结构之 重复单位: 式中R1至R4各自代表氢,-(CH2)C(O)OR,其中R为氢或线型 和分枝之(C1至C10)烷基,且一或多个R1至R4为含芳香 族之取代基,选自包括-G, -(CH2)nG,-C(O)O(CH2)nG,-C(O)NH(CH2)nG,-(CH2)nOG, -(CH2)nOC(O)O(CH2)nG,-(CH2)nNHC(O)G; m为0至5之一整数,n独立代表0至5之一整数;且G为一 芳香族基,被一或多个选自-OR14、R15或其间之组合 等之取代基所取代,其中R14代表氢,线型和分枝之(C 1至C10)烷基,-C(O)CH3,四氢喃基,第三丁基;R15代表 氢、溴、氯、氟、碘、氰基,和-C(O)O-第三-丁基;R1 和R4与其所连接环上之两个碳原子可以共同形成 一个有6至14个碳原子之 被取代之芳香族基,其中该取代基选自一或多个如 前所界定之式-OR14或R15之部分;R1和R4与其所连接环 上之两个碳原子共同形成一个5员杂环基,含有一 或多个杂原子,其中该杂原子被如上所界定之G取 代;R5至R8各自代表一取代基,选自 -(A)nC(O)OR*,-(A)n-C(O)OR,-(A)n-OR, -(A)n-OC(O)R,-(A)n-C(O)R,-(A)n-OC(O)OR,-(A)n-OCH2C(O)OR*, -(A)n-C(O)O-A'-OCH2C(O)OR*,-(A)n-OC(O)-A'-C(O)OR*, -(A)n-C(R)2CH(R)(C(O)OR**),和-(A)n-C(R)2CH(C(O)OR**)2 所附条件为一或多个R5至R8是选自一种含有酸不稳 定性基之R*;A和A'各自代表二价桥键或间隔基,选自 二价烃基、其又选自线型和分枝之(C1至C10)之伸烷 基;二价环烃基,其又选自己取代和未取代之(C3至C8 )环脂基部分,如下式: 式"a"是由2至7之一整数,而Rq若存在则代表线型和 分枝之(C1至C10)烷基;二价含氧基,其又选自(C2至C10) 伸烷基醚和多元醚如下式: -(CH2(CH2)xO)y- 式中x为1至5之一整数而y为2至50之一整数,所附条 件是在多元醚间隔基部分上之终端氧原子不可与 相邻基之终端氧原子直接键结成为一个过氧化物 键;和如下代表之二价环醚和环二醚: n为0或1,而R*为酸不稳定性基,选自Dcpm、Dmcp、-C(CH3) 3、CH(Rp)OCH2CH3、-CH(Rp)OC(CH3)3、和环基,如: 或其间之混合物,其中Rp代表氢和线型或分枝之(C1 至C5)烷基。 9.如申请专利范围第8项之聚合物,另含有选自下列 各结构所代表之一或多个重复单位: 式中R9至R12各自代表氢、线型或分枝之(C1至C10)烷 基,或一取代基,选自 -(A)n-C(O)OR〞,-(A)n-OR〞, -(A)n-OC(O)R〞,-(A)n-OC(O)OR〞, -(A)n-C(O)R〞,-(A)n-OC(O)C(O)OR〞,-(A)n-O-A-C(O)OR〞, -(A)n-OC(O)-A′-C(O)OR〞,-(A)n-C(O)O-A′-C(O)OR〞,-(A)n-C(O) -A′-OR〞, -(A)n-C(O)O-A′-OC(O)OR〞,-(A)n-C(O)O-A′-O-A′-C(O)OR〞, -(A)n-C(O)O-A′-OC(O)C(O)OR〞,-(A)n-C(R〞)2CH(R〞)(C(O)OR〞 ),和 -(A)n-C(R〞)2CH(C(O)OR〞)2, R9和R12可以与其所连接环上之碳原子共同代表一 个环酐基;A和A'各自代表二价桥键或间隔基,选自 二价烃基、其又选自线型和分枝之(C1至C10)伸烷基 ;二价环烃基,其又选自已取代和未取代之(C3至C8) 环脂基部分,如下式: 式中"a"为自2至7之一整数,而Rq若存在则代表线型 和分枝之(C1至C10)烷基;二价含氧基,其又选自(C2至C 10)伸烷基醚和多元醚,如下式: -(CH2(CH2)xO)y- 式中x为自1至5之一整数,而y为自2至50之一整数,附 带条件为在多元醚之间隔基部分上之终端氧原子 不可与在相邻基上之终端氧原子直接键接成为一 个过氧化物键;和如下结构所代表之二价环醚和环 二醚: n为0或1;R"独立代表线型和分枝之(C1至C10)烷基,线 型和分枝之(C1至C10)烷氧基伸烷基、多元醚、单环 和多环(C4至C20)之环脂基部分、环醚、环酮、和环 酯;而R13至R16各自代表氢和线型或分枝之(C1至C10) 烷基;而m为自0至5之一整数。 10.如申请专利范围第1项之聚合物,含有如下结构 之重复单位 式中R1至R4各自代表氢,-(CH2)C(O)OR,其中R为氢或线型 和分枝之(C1至C10)烷基,且一或多个R1至R4为含芳香 族之取代基,选自-G, -(CH2)nG,-C(O)O(CH2)nG,-C(O)NH(CH2)nG-(CH2)nOG, -(CH2)nOC(O)O(CH2)nG,-(CH2)nNHC(O)G; m为0至5之一整数,n独立代表0至5之一整数;且G为一 芳香族基,被一或多个选自由-OR14、R15和其间之组 合之取代基所取代,其中R14代表氢,线型和分枝之(C 1至C10)烷基,-C(O)CH3,四氢喃基,第三丁基;R15代表 氢、溴、氯、氟、碘、氰基,和-C(O)O-第三-丁基;R1 和R4与其所连接环上之两个碳原子可以共同形成 一个有6至14个碳原子之已取代芳香族基,其中该取 代基选自一或多个同前所界定之式-OR14或R15之基 部分;R1和R4与其所连接环上之两个碳原子可以共 同形成一个5员杂环基,含有一或多个杂原子,其中 之杂原子被界定如前之G取代。 11.如申请专利范围第10项之聚合物,另含有如下结 构所代表之重复单位: 式中R9至R12各自代表氢,线型或分枝之(C1至C10)烷基 ,或一取代基,选自 -(A)n-C(O)OR〞,-(A)n-OR〞, -(A)n-OC(O)R〞,-(A)n-OC(O)OR〞, -(A)n-C(O)R〞,-(A)n-OC(O)C(O)OR〞,-(A)n-O-A′-C(O)OR〞, -(A)n-OC(O)-A′-C(O)OR〞,-(A)n-C(O)O-A′-C(O)OR〞,-(A)n-C(O) -A′-OR〞, -(A)n-C(O)O-A,-OC(O)OR〞,-(A)n-C(O)O-A′-O-A′-C(O)OR〞, -(A)n-C(O)O-A′-OC(O)C(O)OR〞,-(A)n-C(R〞)2CH(R〞)(C(O)OR〞 ),和 -(A)n-C(R〞)2CH(C(O)OR〞)2, R9和R12可以与其所连接环上之碳原子共同代表一 个环酐基;A和A'各自代表二价桥键或间隔基,选自 二价烟基,其又选自线型和分枝之(C1至C10)伸烷基; 二价环烃基,其又选自已取代和未被取代如下式之 (C3至C8)环脂基部分: 式中"a"为自2至7之一整数,而Rq如存在则代表线型 和分枝之(C1至C10)烷基;二价含氧基,其又选自(C2至C 10)伸烷基醚和多元醚如下式: -(CH2(CH2)xO)y- 式中x为由1至5之一整数而y为自2至50之一整数,附 带条件为在多元醚间隔基部分上之终端氧原子不 可与相邻基上之终端氧原子直接键接至成一个过 氧化物键;和由如下结构所代表之二价环醚和环二 醚: n为0或1;R"独立代表线型和分枝之(C1至C10)烷基,线 型或分枝之(C1至C10)烷氧基伸烷基、多元醚、单环 和多环之(C4至C20)环脂基部分、环醚、环酮、和环 酯;而R13至R16各自代表氢和线型或分枝之(C1至C10) 烷基;而m为自0至5之一整数。 12.如申请专利范围第11项之聚合物,另含一或多种 选自如下结构所代表之重复单位: 式中R9至R12各自代表氢、线型或分枝之(C1至C10)烷 基,或一取代基,选自 -(A)n-C(O)OR〞,-(A)n-OR〞, -(A)n-OC(O)R〞,-(A)n-OC(O)OR〞,-(A)n-C(O)R〞,-(A)n-OC(O)C(O) OR〞, -(A)n-O-A′-C(O)OR〞,-(A)n-OC(O)-A′-C(O)OR〞,-(A)n-C(O)O-A ′-C(O)OR〞, -(A)n-C(O)-A′-OR〞,-(A)n-C(O)O-A′-OC(O)OR, -(A)n-C(O)O-A′-O-A′-C(O)OR〞,-(A)n-C(O)O-A′-OC(O)C(O)OR 〞, -(A)n-C(R〞)2CH(R〞)(C(O)OR〞),和-(A)n-C(R〞)2CH(C(O)OR)2, n为0或1;R9和R12可以与其所连接环上之碳原子共同 代表1个环酐基;A和A'各自代表二价桥键或间隔基, 选自二价烃基,其又选自线型和分枝之(C1至C10)伸 烷基;二价环烃基,其又选自已取代和未取代之(C3 至C8)环脂基部分,如下式: 式中"a"为由2至7之一整数而Rq若存在则代表线型和 分枝之(C1至C10)烷基;二价含氧基,其又选自(C2至C10) 伸烷基醚和多元醚,如下式: -(CH2(CH2)xO)y- 式中x为自1至5之一整数,而y为自2至50之一整数,附 带条件是在多元醚之间隔基部分上之终端氧原子 不可与相邻基上之终端氧原子直接键结成为一个 过氧化物键;和如下结构所代表之二价环醚和环二 醚: R"独立代表线型和分枝之(C1至C10)烷基,线型或分枝 之(C1至C10)烷氧基伸烷基、多元醚、单环和多环之 (C4至C20)环脂基部分、环醚、环酮、和环酯;而R13 至R16各自代表氢和线型与分枝之(C1至C10)烷基;而m 为自0至5之一整数。 13.一种光阻剂组成物,含有一种光酸起始剂、一种 适选之溶解抑制剂、和一种如申请专利范围第1项 之聚合物,其系由含有芳香族取代侧基之多环单体 与一种含有酸不稳定性取代侧基之多环单体择优 聚合而成,其中该芳香族取代基是选自-G, -(CH2)nG,-C(O)O(CH2)nG,-C(O)NH(CH2)nG,-(CH2)nOG, -(CH2)nOC(O)O(CH2)nG,-(CH2)nNHC(O)G; n独立代表0至5之一整数;且G为-芳香族基,被一或多 个选自-OR14、R15、或其间之组合等之取代基所取 代,其中R14代表氢,线型和分枝之(C1至C10)烷基,-C(O) CH3,四氢喃基,第三丁基;R15代表氢、溴、氯、氟 、碘、氰基,-C(O)O-第三丁基等。 14.如申请专利范围第13项之组成物,其中在该聚合 物上之该芳香族基G是选自如下部分: 和其间之组合,其中X独自代表-OR14或R15之基;a为1至 5之一整数;a'为1至4之一整数,而a"为自1至3之一整 数;R14为氢、线型或分枝之(C1至C10)烷基、-C(O)CH3, 四氢喃基,第三丁基;而R15代表氢,选自溴、氯、 氟、和碘之卤素,氰基和-C(O)O-第三丁基等。 15.如申请专利范围第13项之组成物,其中酸不稳定 性侧基是选自 -(A)nC(O)OR*, -(A)n-OCH2C(O)OR*,-(A)n-C(O)O-A′-OCH2C(O)OR*, -(A)n-OC(O)-A′-C(O)OR*,-(A)n-C(R)2CH(R)(C(O)OR*),和 -(A)n-C(R)2CH(C(O)OR*)2, 其中A和A'各自代表二价桥键或间隔基,选自二价烃 基、其又选自线型和分枝之(C1至C10)伸烷基;二价 环烃基,其又选自如下式已取代和未被取代之(C3至 C8)环脂基部分: 式中"a"为由2至7之一整数,Rq若为存在则代表线型 和分枝之(C1至C10)烷基;二价含氧基,其又选自如下 之(C2至C10)伸烷基醚和多元醚: -(CH2(CH2)xO)y- 式中x为自1至5之整数,而y为2至50之一整数,附带条 件是在多元醚间隔基部分上之终端氧原子不可与 相邻基上之终端氧原子直接键结形成过氧化物键; 和以下各式所代表之二价环醚与环二醚: 而且R*是酸不稳定性基,选自Dcpm、Dmcp、-C(CH3)3、CH( Rp)OCH2CH3、-CH(Rp)OC(CH3)3、和环基如: 或其间之混合物。 16.如申请专利范围第13项之组成物,其中该等单体 是以开环聚合作用聚合而得之一种开环聚合物。 17.如申请专利范围第13项之组成物,其中该开环聚 合物被氢化。 18.如申请专利范围第13项之组成物,其中该等单体 是以自由基聚合作用聚合。 19.如申请专利范围第13项之组成物,其中该等单体 是聚合于有催化剂存在之下,该催化剂选自如式 EnNi(C6F5)2之一化合物,其中n为1或2而E代表中性2电 子供体配合基。 20.如申请专利范围第19项之组成物,其中该催化剂 配合基E是选自包括甲苯、苯、三甲苯、二乙基醚 THF、和二恶烷。 21.如申请专利范围第20项之组成物,其中该催化剂 是选自(甲苯)双(全氟苯基)镍,(三甲苯)双(全氟苯 基)镍,(苯)双(全氟苯基)镍,双(四氢喃)双(全氟苯 基)镍和双(二恶烷)双(全氟苯基)镍。 22.一种光阻剂组成物,其含有一光酸起始剂,一适 当选择之溶解抑制剂,和一如申请专利范围第1项 之在深紫外光(248~193nm)曝光之光阻剂应用之聚合 物,该聚合物包含选自含有芳香族侧基之环型重复 单位;含有酸不稳定性侧基之环型重复单位;含有 中性或极性侧基之环型重复单位;含有烃侧基之环 型重复单位,和其间之组合之重复单位;该聚合物 含有5至100莫耳%之该芳香族侧基,具分子量为Mn=10, 000 ~20,000、Mw=25,000~45,000;其中各重复单位如以下结 构所代表: 式中m独立为0至5之一整数;R1至R4各自代表氢,-(CH2)C (O)OR,其中R为氢或线型和分枝之(C1至C10)烷基,而且 一或多个R1至R4为一含芳香族取代基,选自-G, -(CH2)nG,-C(O)O(CH2)nG,-C(O)NH(CH2)nG,-(CH2)nOG, -(CH2)nOC(O)O(CH2)nG,-(CH2)nNHC(O)G; n独立代表0至5之一整数;而G为一芳香族基,被一或 多个取代基选自-OR14、R15、和其间之组合所取代, 其中R14代表氢,线型和分枝之(C1至C10)烷基,-C(O)CH3, 四氢喃基,第三丁基;R15代表氢、溴、氯、氟、 碘、氰基,和-C(O)O-第三-丁基;R1和R4与其所连接环 上之两个碳原子可以共同形成一个有6至14个碳原 子之被取代芳香族基,其中该等取代基选自一或多 个如前所界定式-OR14或R15基部分;R1和R4与其所连接 环上之两个碳原子也可以共同形成一个5员杂环基 ,含有一或多个杂原子,其中杂原子被界定同前之G 所取代;R5至R8各自代表一取代基,选自 -(A)nC(O)OR*, -(A)n-C(O)OR,-(A)n-OR, -(A)n-OC(O)R,-(A)n-C(O)R,-(A)n-OC(O)OR,-(A)n-OCH2C(O)OR*, -(A)n-C(O)O-A′-OCH2C(O)OR*,-(A)n -OC(O)-A′-C(O)OR*, -(A)n-C(R)2CH(R)(C(O)OR**),和-(A)n-C(R)2CH(C(O)OR**)2 附带条件为一或多个R5至R8选自含有酸不稳定性基 之R*;n为0或1;A和A'各自代表二价桥键或间隔基,选 自二价烃基、其又选自线型和分枝之(C1至C10)伸烷 基;二价环烃基,其又选自已取代和未取代之(C3至C8 )环脂基部分,如下式: 式中"a"为自2至7之一整数,且Rq若存在则代表线型 和分枝之(C1至C10)烷基;二价含氧基,其又选自(C2至C 10)伸烷基醚和多元醚,如下式: -(CH2(CH2)xO)y- 式中x为1至5之一整数,而y为2至50之一整数,附带条 件是在多元醚间隔基部分上之终端氧原子不可与 相邻基上之终端氧原子直接键结而成过氧化物键; 和由如下各结构所代表二价环醚与环二醚: 且R*是酸不稳定性基,选自Dcpm、Dmcp、-C(CH3)3、CH(Rp) OCH2CH3 、-CH(Rp)OC(CH3)3、和如下之环基: 或其间混合物、其中Rp代表氢和线型或分枝之(C1 至C5)烷基;R9至R12各自代表氢,线型或分枝之(C1至C10 )烷基,或一选自如下族群之取代基: -(A)n-C(O)OR〞,-(A)n-OR〞, -(A)n-OC(O)R〞,-(A)n-OC(O)OR〞,-(A)n-C(O)R〞,-(A)n-OC(O)C(O) OR〞, -(A)n-O-A′-C(O)OR〞,-(A)n-OC(O)-A′-C(O)OR〞,-(A)n-C(O)O-A ′-C(O)OR〞, -(A)n-C(O)-A′-OR〞,-(A)n-C(O)O-A′-OC(O)OR〞, -(A)n-C(O)O-A′-O-A′-C(O)OR〞,-(A)n-C(O)O-A′-OC(O)C(O)OR 〞, -(A)n-C(R〞)2CH(R〞)(C(O)OR〞),和-(A)n-C(R〞)2CH(C(O)OR〞) 2, n为0或1;R9至R12与其所连接环上之碳原子可以共同 代表一个环酐基;A和A'各自代表二价桥键或间隔基 ,选自二价烃基,其又选自线型和分枝之(C1至C10)伸 烷基;二价环烃基,其又选自已取代或未取代之(C3 至C8)环脂基部分如下式: 式中"a"为由2至7之一整数,而Rq若存在则代表线型 和分枝之(C1至C10)烷基;二价含氧基,其又选自(C2至C 10)伸烷基醚和多元醚,如下式: -(CH2(CH2)xO)y- 式中x为1至5之一整数而y为自2至50之一整数,附带 条件是在多元醚间隔基部分上之终端氧原子不可 直接与相邻基上之终端氧原子键结成为过氧化物 键;和如下之结构所代表之二价环醚和环二醚: R"独立代表线型和分枝之(C1至C10)烷基,线型或分枝 之(C1至C10)烷氧基伸烷基、多元醚、单环和多环之 (C4至C20)环脂基部分、环醚、环酮、和环酯;R13至R 16各自代表氢和线型与分枝之(C1至C10)烷基。 23.如申请专利范围第22项之组成物,其中该聚合物 含有如下结构之重复单位: 式中一或多个R1至R4为含芳香族基之取代基,选自 一族群,包括-G, -(CH2)nG,-C(O)O(CH2)nG,-C(O)NH(CH2)nG,-(CH2)nOG, -(CH2)nOC(O)O(CH2)nG,-(CH2)nNHC(O)G; n独立代表0至5之一整数;而G为一芳香族基,被一或 多个选自-OR14、R15和其间之组合之取代基所取代, 其中R14代表氢,线型和分枝之(C1至C10)烷基,-C(O)CH3, 四氢喃基,第三丁基;R15代表氢、溴、氯、氟、 碘、氰基,-C(O)O-第三-丁基。 24.如申请专利范围第23项之组成物,其中该聚合物 上之该芳香族基是选自如下各基部分及其组合: 式中X独立代表-OR14和R15;a为1至5之一整数;a'为1至4 之一整数,而a"为1至3之一整数;R14为氢、线型和分 枝之(C1至C10)烷基、-C(O)CH3,四氢喃基,第三丁基; 而R15代表氢,选自溴、氯、氟、和碘之卤素,氰基 和-C(O)O-第三丁基等。 25.如申请专利范围第24项之组成物,其中该聚合物 中之X为一羟取代基,且该组成物另含可与该羟取 代基作用之交联剂。 26.如申请专利范围第25项之组成物,其中该交联剂 是选自羟甲基、烷氧烷基和羧甲基所取代之酚类; 羟甲基、烷氧烷基和羧甲基所取代之环类;羟甲 基、烷氧烷基和羧甲基所取代之三聚氰胺;和羟甲 基、烷氧烷基和羧甲基所取代之苯并鸟嘌呤化合 物等。 27.如申请专利范围第26项之组成物,其中该交联剂 是选自如下式之化合物: 28.如申请专利范围第22项之组成物,其中该光酸起 始剂是选自三苯基三氟甲烷磺酸盐、苯三酚、 选自三芳基和二芳基碘六氟锑酸盐之盐、 六氟砷酸盐、和三氟甲烷磺酸盐、羟亚醯胺之酯 、、'-双-磺醯基-重氮甲烷、硝基所取代苯甲 醇之磺酸酯和-4-二叠氮物。 29.如申请专利范围第4项之聚合物,另含一种单体, 选自马来酐、SO2、和其混合物。 |
