发明名称 基板及其制作方法
摘要 一种基板,其包括一介电层及至少一导电块。其中,此介电层具有相对应的第一表面及第二表面,而此导电块系配置于介电层内,且系由第一凸块、第二凸块及夹置于二者间的金属层所组成。此介电层之第一表面与第二表面上可进一步地配置图案化的第一线路层与第二线路层,此第一线路层系透过实心的导电块与第二线路层电性连接,以增加基板的可靠度。
申请公布号 TWI250555 申请公布日期 2006.03.01
申请号 TW094116840 申请日期 2005.05.24
申请人 日月光半导体制造股份有限公司 发明人 涂昭乾;洪清富;林素玉
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项 1.一种基板,包括: 一介电层,具有相对应之一第一表面以及一第二表 面;以及 至少一导电块,配置于该介电层内,该导电块包括 一第一凸块、一第二凸块以及一金属层,且该金属 层系配置于该第一凸块与该第二凸块之间。 2.如申请专利范围第1项所述之基板,更包括一第一 导电层及一第二导电层分别配置于该介电层之该 第一及第二表面上,其中该第一凸块连接该第一导 电层,而该第二凸块连接该第二导电层。 3.如申请专利范围第2项所述之基板,其中该第一及 第二导电层系为一图案化之线路层。 4.如申请专利范围第3项所述之基板,更包括一第一 焊罩层,配置于该第一导电层上,并暴露出至少部 分该第一导电层。 5.如申请专利范围第4项所述之基板,更包括一第一 抗氧化层,配置于该第一焊罩层所暴露之至少部分 该第一导电层上。 6.如申请专利范围第5项所述之基板,其中该第一抗 氧化层包括一镍/金层。 7.如申请专利范围第3项所述之基板,更包括一第二 焊罩层,配置于该第二导电层上,并暴露出至少部 分该第二导电层。 8.如申请专利范围第7项所述之基板,更包括一第二 抗氧化层,配置于该第二焊罩层所暴露之至少部分 该第二导电层上。 9.如申请专利范围第8项所述之基板,其中该第二抗 氧化层包括一镍/金层。 10.如申请专利范围第1项所述之基板,其中该第一 凸块之材质包括铜。 11.如申请专利范围第1项所述之基板,其中该第二 凸块之材质包括铜。 12.如申请专利范围第1项所述之基板,其中该金属 层之材质包括镍。 13.一种基板,包括: 一叠合层,具有相对应之一第一表面以及一第二表 面,且该叠合层包括: 多数个介电层; 至少一导电层,配置于相连两介电层之间; 一第一表层线路,配置于该第一表面; 一第二表层线路,配置于该第二表面; 多数个导电块,配置于该些介电层内,用以导通该 第一表层线路、该导电层与该第二表层线路,其中 各该导电块包括: 一第一凸块; 一第二凸块;以及 一金属层,配置于该第一凸块与该第二凸块之间。 14.如申请专利范围第13项所述之基板,更包括一第 一焊罩层,配置于该第一表层线路上,并暴露出至 少部分该第一表层线路。 15.如申请专利范围第14项所述之基板,更包括一第 一抗氧化层,配置于该第一焊罩层所暴露之至少部 分该第一表层线路上。 16.如申请专利范围第15项所述之基板,其中该第一 抗氧化层包括一镍/金层。 17.如申请专利范围第13项所述之基板,更包括一第 二焊罩层,配置于该第二表层线路上,并暴露出至 少部分该第二表层线路。 18.如申请专利范围第17项所述之基板,更包括一第 二抗氧化层,配置于该第二焊罩层所暴露之至少部 分该第二表层线路上。 19.如申请专利范围第18项所述之基板,其中该第二 抗氧化层包括一镍/金层。 20.如申请专利范围第13项所述之基板,其中该第一 凸块之材质包括铜。 21.如申请专利范围第13项所述之基板,其中该第二 凸块之材质包括铜。 22.如申请专利范围第13项所述之基板,其中该金属 层之材质包括镍。 23.一种基板的制作方法,包括: 提供一复合导电层,其中该复合导电层包括多数个 金属层; 图案化该复合导电层一外侧之至少一金属层,以形 成多数个第一凸块; 于该些第一凸块间形成一第一介电层,且该第一介 电层暴露出该些第一凸块之顶面; 图案化该复合导电层之另一外侧,以形成对应于该 些第一凸块的多数个第二凸块;以及 于该第一介电层上形成一第二介电层,且该第二介 电层暴露该第二凸块之顶面。 24.如申请专利范围第23项所述之基板的制作方法, 其中该复合导电层包括: 一第一外层金属层; 一第二外层金属层;以及 一中间金属层,配置于该第一外层金属层与该第二 外层金层之间。 25.如申请专利范围第24项所述之基板的制作方法, 其中在图案化该复合导电层外侧之至少一金属层 时,系图案化该第一外层金属层,而在图案化该复 合导电层之另一外侧时,系图案化该第二外层金属 层与该中间金属层。 26.如申请专利范围第24项所述之基板的制作方法, 其中在图案化该复合导电层外侧之至少一金属层, 系图案化该第一外层金属层与该中间金属层,而在 图案化该复合导电层之另一外侧时,系图案化该第 二外层金属层。 27.如申请专利范围第23项所述之基板的制作方法, 其中在形成该第一介电层之后,更包括固化该第一 介电层。 28.如申请专利范围第23项所述之基板的制作方法, 其中在形成该第二介电层之后,更包括固化该第二 介电层。 29.如申请专利范围第23项所述之基板的制作方法, 其中在形成该第二介电层之后,更包括: 在该第一介电层与该第二介电层之外侧表面上分 别形成一第一表层线路与一第二表层线路; 在该第一介电层与该第二介电层上分别形成一第 一焊罩层与一第二焊罩层,其中该第一焊罩层暴露 出至少部分该第一表层线路,而该第二焊罩层暴露 出至少部分该第二表层线路;以及 在该第一焊罩层所暴露之至少部分该第一表层线 路上形成一第一抗氧化层,并且在该第二焊罩层所 暴露之至少部分该第二表层线路上形成一第二抗 氧化层。 30.如申请专利范围第29项所述之基板的制作方法, 其中形成该第一抗氧化层与该第二抗氧化层的方 法包括分别在该第一焊罩层所暴露之至少部分该 第一表层线路以及该第二焊罩层所暴露之至少部 分该第二表层线路上电镀一镍/金层。 31.如申请专利范围第23项所述之基板的制作方法, 其中在形成该第二介电层之后,更包括: 在该第一介电层与该第二介电层上分别形成一第 一导电层与一第二导电层; 在该第一导电层与该第二导电层上分别形成图案 化之一第一抗氧化层与图案化之一第二抗氧化层; 图案化该第一导电层与该第二导电层,以形成一第 一表层线路与一第二表层线路;以及 在该第一介电层与该第二介电层上分别形成一第 一焊罩层与一第二焊罩层,其中该第一焊罩层覆盖 该第一表层线路,并暴露出该第一抗氧化层,而该 第二焊罩层覆盖该第二表层线路,并暴露出该第二 抗氧化层。 32.如申请专利范围第31项所述之基板的制作方法, 其中形成该第一抗氧化层与该第二抗氧化层的方 法包括: 分别在该第一导电层与该第二导电层上电镀一镍/ 金层;以及 图案化该些镍/金层。 33.一种基板的制作方法,包括: 提供一复合导电层,其中该复合导电层包括多数个 金属层; 图案化该复合导电层一外侧之至少一金属层,以形 成多数个第一凸块; 于该些第一凸块之间形成一第一介电层,且该第一 介电层暴露出该些第一凸块之顶面; 图案化该复合导电层之另一外侧,以形成对应于该 些第一凸块的多数个第二凸块; 于该第一介电层上形成一第二介电层,且该第二介 电层暴露该些第二凸块之顶面,以形成一叠合基板 ; 重复上述步骤,以形成至少另一叠合基板; 于任两相邻之叠合基板之间形成一图案化线路,并 且在最外侧之两叠合基板的外侧表面上分别形成 一第一导电层与一第二导电层;以及 压合该些叠合基板。 34.如申请专利范围第33项所述之基板的制作方法, 更包括: 图案化该第一导电层与该第二导电层,以在最外侧 之两叠合基板的外侧表面上分别形成一第一表层 线路与一第二表层线路; 在最外侧之两叠合基板的外侧表面上分别形成一 第一焊罩层与一第二焊罩层,其中该第一焊罩层暴 露出至少部分该第一表层线路,而该第二焊罩层暴 露出至少部分该第二表层线路;以及 在该第一焊罩层所暴露之至少部分该第一表层线 路上形成一第一抗氧化层,并且在该第二焊罩层所 暴露之至少部分该第二表层线路上形成一第二抗 氧化层。 35.如申请专利范围第34项所述之基板的制作方法, 其中形成该第一抗氧化层与该第二抗氧化层的方 法包括分别在该第一焊罩层所暴露之至少部分该 第一表层线路以及该第二焊罩层所暴露之至少部 分该第二表层线路上电镀一镍/金层。 36.如申请专利范围第33项所述之基板的制作方法, 更包括: 在该第一导电层与该第二导电层上分别形成图案 化之一第一抗氧化层与图案化之一第二抗氧化层; 图案化该第一导电层与该第二导电层,以在最外侧 之两叠合基板的外侧表面上分别分别形成一第一 表层线路与一第二表层线路;以及 在最外侧之两叠合基板的表面分别形成一第一焊 罩层与一第二焊罩层,其中该第一焊罩层覆盖该第 一表层线路,并暴露出该第一抗氧化层,而该第二 焊罩层覆盖该第二表层线路,并暴露出该第二抗氧 化层。 37.如申请专利范围第36项所述之基板的制作方法, 其中形成该第一抗氧化层与该第二抗氧化层的方 法包括: 分别在该第一导电层与该第二导电层上电镀一镍/ 金层;以及 图案化该些镍/金层。 图式简单说明: 图1A-1D绘示分别为习知之基板上的导电通孔之制 作流程剖面图。 图2绘示为本发明之基板的结构剖面图。 图3A绘示为在基板两侧之表面上分别配置一导电 层之剖面图。 图3B绘示为在基板两侧之表面上分别配置一导电 层、一焊罩层及一抗氧化层之剖面图。 图4绘示为本发明之基板的结构剖面图。 图5绘示为在本发明之基板的两侧表面上分别配置 一焊罩层之剖面图。 图6A-6E绘示为本发明之具有双层线路层之基板的 制作流程剖面图。 图7A-7E绘示为另一种制作基板的制作流程剖面图 。 图8A-8C绘示为在基板上预先保留下电镀线,以于基 板之表面上依序形成表层线路、焊罩层及抗氧化 层之制作流程剖面图。 图9A-9C绘示为另一种在图7E中所示之基板的表面上 形成表层线路、焊罩层及抗氧化层之制作流程剖 面图。 图10A-10G绘示为本发明之具有多层线路层的基板之 制作流程剖面图。 图11A-11C绘示为在基板上预先保留下电镀线,以于 基板之表面上依序形成表层线路、焊罩层及抗氧 化层之制作流程剖面图。 图12A-12C绘示为另一种在图10G中所示之基板的表面 上形成表层线路、焊罩层及抗氧化层之制作流程 剖面图。
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