发明名称 机能液供给装置、描画装置、光电装置之制造方法、光电装置及电子机器
摘要 在对载件(carriage)(63)所搭载之机能液滴吐出头(head)(41)供给机能液之机能液供给装置(4),系具备:机能液槽(91)、及将从机能液槽(91)导入1次室(172)之机能液,介由2次室(173)供给到机能液滴吐出头(41),同时,构成2次室(173)的1个面并以面向大气之圆形隔板(diaphragm)(175)所承受之大气压作为基准调整压力,进行开闭连通1次室(172)与2次室(173)之连通流路(174)的压力调整阀(161),及介由压力调整阀(161),接续机能液槽(91)与机能液滴吐出头(41)的接续管(tube)(72);机能液槽(91)及压力调整阀(161)系被搭载于载件(63)。结果,能确保机能液槽(91)的设置自由度,而且能缩短机能液流路。
申请公布号 TWI250090 申请公布日期 2006.03.01
申请号 TW093134498 申请日期 2004.11.11
申请人 精工爱普生股份有限公司 发明人 林高之;小野健一
分类号 B41J2/175 主分类号 B41J2/175
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 1.一种对载件(Carriage)所搭载之机能液滴吐出头( head)供给机能液之机能液供给装置,其特征为具备: 供给前述机能液之机能液槽(tank),及 将从前述机能液槽导入1次室之机能液,介由2次室 供给到机能液滴吐出头,同时,构成前述2次室的1个 面并以面向大气之圆形隔板(diaphragm)所承受之大 气压作为基准调整压力,进行开闭连通前述1次室 与前述2次室之连通流路的压力调整阀,及 介由前述压力调整阀,接续前述机能液槽与前述机 能液滴吐出头的接续管(tube); 前述机能液槽及前述压力调整阀系被搭载于前述 载件。 2.如申请专利范围第1项之机能液供给装置,其中 前述机能液槽及前述压力调整阀,系以前述机能液 从前述机能液槽向前述机能液滴吐出头自然流下 的方式,被搭载于前述载件上。 3.如申请专利范围第1项之机能液供给装置,其中 前述机能液槽系将已抽掉空气之前述机能液进行 真空包装后的包装(pack)形式。 4.如申请专利范围第3项之机能液供给装置,其中进 而具备 由接续在前述接续管之上流端的管接续部,及连通 在前述管接续部而且接续在前述机能液槽之供给 口的接续针所构成,接续前述接续管及前述机能液 槽的接续件; 前述供给口系以能接纳前述接续针自由插拔之弹 性材料所密封。 5.一种描画装置,其特征系具备: 前述机能液滴吐出头,及 申请专利范围第1项之机能液供给装置; 藉由对着工件(work),使前述载件相对地移动,且驱 动吐出前述机能液滴吐出头,而对前述工件用机能 液滴进行描画。 6.如申请专利范围第5项之描画装置,其中 前述机能液滴吐出头、前述压力调整阀以及前述 机能液槽系被配设在一直线上。 7.如申请专利范围第6项之描画装置,其中 前述压力调整阀以及前述机能液槽系被纵置。 8.如申请专利范围第6项之描画装置,其中 在前述载件上,将前述机能液滴吐出头、前述压力 调整阀以及前述机能液槽配设在前述一直线上之 一单位单元(unit),系被搭载复数组。 9.如申请专利范围第8项之描画装置,其中 前述复数细单位单元,系在前述机能液滴吐出头、 前述压力调整阀以及前述机能液槽之配设方向的 直交方向,被约略横向并排地配置; 前述复数组单位单元所包含之复数个前述机能液 滴吐出头,系在被固定定位于单一之头板(head plate) 的状态下,被搭载于前述载件。 10.如申请专利范围第8项之描画装置,其中 前述复数细单位单元所包含之复数个前述压力调 整阀,系在被固定定位于单一之阀板(valve plate)的 状态下,被搭载于前述载件。 11.如申请专利范围第8项之描画装置,其中 前述复数细单位单元所包含之复数个前述机能液 槽,系在被固定定位于单一之槽板(tank plate)的状态 下,被搭载于前述载件。 12.一种光电装置之制造方法,其特征系: 采用申请专利范围第5项之描画装置,在前述工件 上利用机能液滴形成成膜部。 13.一种光电装置,其特征系: 采用申请专利范围第5项之描画装置,在前述工件 上利用机能液滴形成成膜部。 14.一种电子机器,其特征系: 搭载利用申请专利范围第12项之光电装置之制造 方法所制造之光电装置。 15.一种电子机器,其特征系: 搭载申请专利范围第13项之光电装置。 图式简单说明: 第1图系本发明实施型态相关之描画装置的平面模 式图。 第2图系本发明实施型态相关之描画装置的正面模 式图。 第3图系支撑框周围的平面模式图。 第4图系机能液滴吐出头的外观斜视图。 第5图系机能液槽(tank)周围的说明图。 第6图系由背面所见的压力调整阀的外观斜视图。 第7A、7B图系压力调整阀之说明图,第7A图系压力调 整阀的背面图,第7B图系压力调整阀的正面图。 第8A、8B图系压力调整阀的说明图,第8A图系压力调 整阀的纵剖面图:第8B图系扩大1次室周围的纵剖面 图。 第9图系用以说明压力调整阀之动作的说明图。 第10图系显示机能液滴吐出头、压力调整阀、及 机能液槽之高度的关系图。 第11图系针对描画装置之主控制系加以说明的方 块图。 第12图系说明彩色滤光片制造工程的流程图。 第13A~13E图系依照制造工程顺序显示之彩色滤光片 的模式剖面图。 第14图系显示采用适用本发明之彩色滤光片之液 晶装置的概略构成的重要部分剖面图。 第15图系显示采用适用本发明之彩色滤光片之第2 例之液晶装置的概略构成的重要部分剖面图。 第16图系显示采用适用本发明之彩色滤光片之第3 例之液晶装置的概略构成的分解斜视图。 第17图系有机EL装置之显示装置的重要部分剖面图 。 第18图系说明有机EL装置之显示装置的制造工程流 程图。 第19图系说明无机物堤(bank)层之形成的重要部分 剖面图。 第20图系说明有机物堤层之形成的重要部分剖面 图。 第21图系说明正孔注入/输送层之形成过程的重要 部分剖面图。 第22图系说明正孔注入/输送层被形成之状态的重 要部分剖面图。 第23图系说明青色发光层之形成过程的重要部分 剖面图。 第24图系说明青色发光层被形成之状态的重要部 方剖面图。 第25图系说明各色发光层被形成之状态的重要部 分剖面图。 第26图系说明阴极之形成的重要部分剖面图。 第27图系电浆型显示装置(PDP装置)之显示装置的重 要部分分解斜视图。 第28图系电子放出装置(FED装置)之显示装置的重要 部分剖面图。 第29A、29B图系显示装置之电子放出部周围的平面 图(29A)以及显示其形成方法的平面图(29B)。
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