光学构件之支撑方法及支撑构造、光学装置、曝光装置、以及元件制造方法

摘要

将间隔构件(93)配置于复数个透镜中最下端之透镜(92)与配置于其下方之平行平板(94)间，藉由吸引透镜(92)及平行平板之一部分，使平行平板悬吊支撑于透镜(92)。藉此，不须将间隔构件(93)作成较平行平板(94)大，与采用藉由把持来保持平行平板(94)之保持机构相较，能确保平行平板(94)附近之空间。又，由于不把持平行平板(94)，因此能避免平行平板(94)之变形，抑制像差产生于投影单元(PU)。