发明名称 切割刀调整角度方法
摘要 本发明系有关于一种切割刀调整角度方法,系于进行切割刀之实际压刀作业之前,先使切割刀之刀刃于一透明薄膜上产生压痕,并撷取前述压痕之影像,之后再以数值分析方法以及所设定之公式自动进行切割刀之角度与位置之计算与调整,且可重复进行前述之计算与调整动作,如此即可精确调整切割刀其刀刃之角度与位置,藉以得到一水平、均匀之压痕。另外,藉由自动调整之方式亦可减少调整之时间,进而可藉以提高产能。
申请公布号 TW200608521 申请公布日期 2006.03.01
申请号 TW093124535 申请日期 2004.08.16
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 陈贵荣;谭子陵;赖志一;陈孟群
分类号 H01L21/78;B26D5/00 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号
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